基本信息
文件名称：UNIvap uni vap 真空镀膜系统 4S 5S 说明书.pdf
文件大小：2.2 MB
总页数：4 页
更新时间：2025-09-11
总字数：约2.04万字
文档摘要
真空镀膜系统
UNIvap
Y
G?小型高性价比解决方案
O?标准模块化设计
L
?膜厚均匀性：+/-3%（特殊定制可实现+/-1%）
O
N?UNIvap4S支持100x100mm方片或6晶圆
H?UNIvap5S支持150x150mm方片或8晶圆
C
E
T?应用：
S-金属镀膜
A-光学镀膜