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传感器原理与应用传感器技术教学团队

第三章电容式传感器

CONTENTS电容式传感器的基本工作原理和结构类型电容式传感器的测量电路基于MEMS的微型电容式传感器

电容式传感器的基本工作原理和结构类型电容式传感器是能把某些被测非电量的变化，通过一个可变电容器，转换成电容量的变化的装置。利用电容式传感器可用来测量声强、液位、水量、振动、压力、厚度等参数，特别是可测量百分之几微米数量级的微位移值。一、电容式传感器的基本工作原理当忽略边界效应时，对于图3.1所示平行极板电容器，其电容量和两个极板的间隙、表面积之间的关系可用下式表示：式中：C为电容(pF)；ε为极板间介质的介电