基本信息
文件名称:薄膜物理第章真空技术基础.ppt
文件大小:5.22 MB
总页数:23 页
更新时间:2025-09-11
总字数:约5.95千字
文档摘要

1.3真空的获得(1)旋片式机械泵(RotaryPump)(a)外观(b)内部结构(c)工作原理1、扩张(吸气)2、容积最大3、压缩4、排气机械泵:利用机械运动部件转动或滑动形成的输运作用获得真空的泵。分类:旋片式(最常见)、定片式、滑阀式运转模式:吸气?压缩?排气(不断循环)基本特点:需加真空油(密封用);可从大气压开始工作;

真空度要求低?可单独使用;真空度要求高?作为前级泵使用工作区间:单级:105~1Pa;双级:105~10-2Pa优、缺点:结构简单、工作可靠