基本信息
文件名称:薄膜物理与技术真空技术基础.ppt
文件大小:6.05 MB
总页数:49 页
更新时间:2025-09-11
总字数:约1.03万字
文档摘要

1.1.3气体与蒸气1真空技术基础1.1真空的基本知识临界温度:对于每一种气体都有一个特定的温度,高于此温度,气体无论如何压缩都不会液化,这个温度称为该气体的临界温度。温度高于临界温度的气态物质称为气体,低于临界温度的气态物质称为蒸气。实际应用中,通常以室温标准来区分气体和蒸气。表1-2各种物质的临界温度。P3气态的两种形式常见物质的临界温度:空气-1400C;氧气-1180C;氮气-267.80C酒精2430C;水374.20C;Fe37000C1.2稀薄气体的性质1.2.1理想气体定律(一定质量的气体)式中: