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第二章电阻式传感器

CONTENTS金属应变片式电阻传感器基于MEMS的半导体压阻式传感器

金属应变片式电阻传感器电阻式传感器是将被测的非电量（如位移、力、加速度等）转换成电阻的变化量的传感元件，并通过对电阻值的测量电路变换为电压或电流，达到检测非电量的目的。由于它的结构简单、易于制造、价格便宜、性能稳定、输出功率大，故至今在检测技术中应用仍甚为广泛。由于构成电阻的材料种类很多，例如导体、半导体、电解质溶液等，因而引起电阻变化的物理原因也很多。例如电阻材料的长度变化或内应力变化、温度变化等，根据这些不同的物理原理，就产生了各种各样的电阻式传感器。电阻式传感器的敏感元件有应变片、半导体膜片和电