基本信息
文件名称：光学薄膜应力演变与控制研究.pdf
文件大小：874.9 KB
总页数：14 页
更新时间：2025-09-12
总字数：约10.28万字
文档摘要
EvolutionandControlofOpticalThinFilmStress
11,21111
FangMing,LiJingPing,HeHongBo,FanZhen