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文件名称:2025年半导体光刻胶国产化关键技术突破与创新挑战.docx
文件大小:32.49 KB
总页数:20 页
更新时间:2025-09-14
总字数:约1.13万字
文档摘要
2025年半导体光刻胶国产化关键技术突破与创新挑战
一、2025年半导体光刻胶国产化关键技术突破与创新挑战
1.1技术突破
1.1.1高性能光刻胶的研发
1.1.2新型光刻胶基材的开发
1.1.3光刻胶涂布技术的创新
1.1.4环保型光刻胶的研制
1.2创新挑战
1.2.1原材料供应问题
1.2.2关键技术依赖进口
1.2.3人才短缺
1.2.4市场竞争激烈
1.2.5技术创新压力
二、关键材料与工艺创新
2.1关键原材料的发展与应用
2.1.1光引发剂的国产化
2.1.2感光树脂的突破
2.1.3溶剂和助剂的国产化
2.2制造工艺的改进与创新
2.2.1涂布