基本信息
文件名称:2025年半导体光刻光源技术创新助力半导体封装技术革新.docx
文件大小:33.38 KB
总页数:20 页
更新时间:2025-09-14
总字数:约1.19万字
文档摘要
2025年半导体光刻光源技术创新助力半导体封装技术革新参考模板
一、:2025年半导体光刻光源技术创新助力半导体封装技术革新
1.1技术创新背景
1.2光刻光源技术发展现状
1.2.1DUV光源
1.2.2EUV光源
1.2.3NIR光源
1.3技术创新对半导体封装的影响
1.3.1提升封装精度
1.3.2降低封装成本
1.3.3拓展封装领域
1.3.4满足市场需求
二、半导体光刻光源技术发展趋势
2.1光源技术发展趋势
2.1.1光源功率的提升
2.1.2光源稳定性的提高
2.1.3光源寿命的延长
2.1.4光源尺寸的缩小
2.2光源材料创新
2.3光源集成