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文件名称:2025年半导体光刻光源技术创新助力半导体封装技术革新.docx
文件大小:33.38 KB
总页数:20 页
更新时间:2025-09-14
总字数:约1.19万字
文档摘要

2025年半导体光刻光源技术创新助力半导体封装技术革新参考模板

一、:2025年半导体光刻光源技术创新助力半导体封装技术革新

1.1技术创新背景

1.2光刻光源技术发展现状

1.2.1DUV光源

1.2.2EUV光源

1.2.3NIR光源

1.3技术创新对半导体封装的影响

1.3.1提升封装精度

1.3.2降低封装成本

1.3.3拓展封装领域

1.3.4满足市场需求

二、半导体光刻光源技术发展趋势

2.1光源技术发展趋势

2.1.1光源功率的提升

2.1.2光源稳定性的提高

2.1.3光源寿命的延长

2.1.4光源尺寸的缩小

2.2光源材料创新

2.3光源集成