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文档摘要

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气体光学测试芯片与谱学解析方法的交叉融合

目录

TOC\o1-3\h\z\u一、气体光学测试芯片的技术基础与设计原理 3

1、光学芯片的物理结构设计 3

微腔与波导结构的光场调控机制 3

表面等离激元共振增强的气体传感原理 4

2、芯片材料与制造工艺 6

硅基与氮化硅材料的光学特性对比 6

电子束光刻与反应离子刻蚀的精度控制 7

二、光谱解析算法的数学模型与计算方法 10

1、光谱信号预处理技术 10

小波变换去噪与基线校正算法 10

傅里叶变换频域特征提取方法 11

2、多组分气体定量分析模型 13

偏最小