摘要

制造业的发展离不开高性能的加工器具和保护薄膜。其中各类加工设备和传

动部件中必不可少的零件则需要具有高硬度、耐摩擦等特性。并且随着面临任务

和环境的复杂化，考虑到零件在摩擦下的升温情况和拓宽应用范围的需求，对零

件的保护薄膜在高温下的性能和耐腐蚀性能也提出了新的要求。因此，这需要薄

膜具备耐摩擦、耐腐蚀、耐高温及抗氧化等性能。传统的氮化物膜层具有良好的

耐磨损性能，在各类加工器件中应用广泛。为拓宽应用场景，部分研究对

TiAlON薄膜进行探究，发现其耐腐蚀性能有着一定提升。

传统的直