基本信息
文件名称:创新引领半导体制造:2025年刻蚀工艺优化技术突破报告.docx
文件大小:33.5 KB
总页数:22 页
更新时间:2025-09-16
总字数:约1.22万字
文档摘要
创新引领半导体制造:2025年刻蚀工艺优化技术突破报告参考模板
一、创新引领半导体制造:2025年刻蚀工艺优化技术突破报告
1.刻蚀工艺优化技术突破
1.1刻蚀工艺概述
1.2刻蚀工艺优化技术突破
1.2.1新型刻蚀气体
1.2.2等离子体刻蚀技术
1.2.3纳米刻蚀技术
1.2.4表面处理技术
2.市场需求分析
2.1半导体工艺节点不断缩小
2.25G、人工智能、物联网等新兴产业
2.3国内外市场竞争加剧
3.技术创新路径
3.1加大研发投入
3.2加强产学研合作
3.