基本信息
文件名称：半导体废气处理机简介.ppt
文件大小：721 KB
总页数：24 页
更新时间：2025-09-17
总字数：约4.57千字
文档摘要
系统特点的简介
2.CircularN2nozzleN2film
SPRINGN2in到排水模块环形氮气喷嘴N2Nozzle高温区HotZone废气流入氮气膜氮气入口环形N2喷嘴喷洒环状N2气,沿着裂解腔内壁形成陇罩气膜(Film)来保护腔的内壁,以防止腔体被化学及高温腐蚀,并且吹走反应后副产固态颗粒,不让颗粒在腔壁停留堆积,所以本设备不用停机维修堆积物.系统特点的简介3.DWScrubber’sCircularspraydrainmodule