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文档摘要

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电子工业用超纯水概述

半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

用两级反渗透制取

电子工业超纯水处理设备采用两级反渗透主机加EDI

制取电子工业超纯水处理设备

制备电子工业用超纯水的工艺流程

电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种：

1、采用离子交换树脂制备超纯水