基本信息
文件名称：T_CI 512-2024 硅基厚金属膜电镀工艺技术规范.docx
文件大小：164.61 KB
总页数：28 页
更新时间：2025-09-17
总字数：约9.08千字
文档摘要
ICS25.220.40CCSH01
团体标准
T/CI512—2024
硅基厚金属膜电镀工艺技术规范
Technicalspecificationsforcriterionofthesilicon-basedthickmetalfilm
electroplatingprocess
2024-09-18发布2024-09-18实施
中国国际科技促进会发布
出版
Ⅰ
T/CI512—2024
目