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文档摘要

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半导体行业超纯水系统

——深圳恒通源

半导体行业超纯水系统介绍：

●概述

??半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

●设备特点

??电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统