基本信息
文件名称:半导体厂务系统介绍.docx
文件大小:424.58 KB
总页数:2 页
更新时间:2025-09-17
总字数:约2.16千字
文档摘要
WOIRD格式
专业资料整理
CleanroomSystem[洁净室系统]
a,内装修工程:(高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceilinggrid、无
尘涂装、环氧地坪等)、压差控制系统、ESD防静电等;
b,循环空调系统:(包括部分供热与通风系统,比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、
FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.);
c,FOUNDATION:防震机座、粉尘监测智能系统/DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁
净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和
压缩机etc.
Mechan