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ZnO薄膜的制备方法分析概述

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TOC\o1-3\h\u25852ZnO薄膜的制备方法分析概述 1

188711.1原子层沉积法 1

226531.2多层溶胶-凝胶法 2

237991.3等离子体辅助反应蒸发法（PARE） 4

原子层沉积(ALD)法是一种很常见的ZnO薄膜制备手段，该方法允许在面积较大的p-Si衬底上沉积ZnO薄膜，并且该工艺方法能够对ZnO薄膜的厚度在纳米尺度上进行精确控制，最终获得的样品具备良好的结构特性。用溶胶-凝胶法制备得到的ZnO薄膜可以作为有机太阳能电池中的电子选择层，该方法制备的过程中，ZnO的发生了不均匀的扩散，导致得到