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文档摘要

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ZnO薄膜的特性分析

ZnO与其他带隙宽度相同的氧化物半导体材料相比，在发光二极管、平板显示和太阳能电池中有很多的应用，这些都与它独特的性能息息相关。近年来，该化合物被应用于太阳能电池的透明窗口材料，也是光伏器件的良好材料，它在各个领域都具有作为透明导电半导体材料的可行性。

1.1晶体结构

由X射线衍射观察到的ZnO薄膜的结构见REF_Re\h图1.5。XRD图谱分析得出，C轴方向（002）薄膜显示出了很强的晶体取向。薄膜的晶体尺寸由Debye-Sherrer公式估算得到为33nm。并用其他手段测量得到薄膜的其余微观结构参数为：位错密度=8.66×10?4nm?2