Post-CMOS技术赋能：MEMS集成电容式压力传感器的深度解析与创新实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，传感器技术作为信息获取的关键环节，广泛应用于工业、医疗、交通、环境监测等诸多领域，成为推动各行业进步的重要力量。随着物联网、人工智能和大数据等新兴技术的兴起，对传感器的性能提出了更高要求，如高精度、高灵敏度、低功耗、微型化以及良好的稳定性和可靠性等。压力传感器作为传感器家族中的重要成员，在压力测量、控制与监测等方面发挥着不可或缺的作用，其性能的优劣直接影响到相关系统的运行效果和应用价值。

MEMS（微机电系统）技术的出现，为压力传感器的发展带来了新的机遇。M