基本信息

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文档摘要

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硅基集成光器件中波导光栅的关键技术与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的迅猛发展，人们对于数据传输速率和通信容量的需求呈爆炸式增长。光通信凭借其高带宽、低损耗、抗电磁干扰等显著优势，已成为现代通信网络的核心支柱。在光通信系统中，光器件作为实现光信号产生、传输、处理和探测的关键元件，其性能的优劣直接决定了整个通信系统的效能。

硅基集成光器件，作为光电子领域的重要研究方向，近年来受到了广泛的关注和深入的研究。硅，作为一种在半导体行业中被广泛应用且成熟的材料，具备诸多独特优势。它不仅拥有高折射率，能够实现光信号在波导中的有效约束和低损耗传输，还与互补金属氧化物半导体（CMOS