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文件名称：锆酸铅基反铁电薄膜的制备及电性能研究.pdf
文件大小：7.15 MB
总页数：98 页
更新时间：2025-09-21
总字数：约14.35万字
文档摘要
摘要
PbZrO(PZ)基反铁电薄膜具有独特的场致相变和几乎为0的剩余极化值获得了较高
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的储能密度，因此在电介质储能领域中具有广阔的应用前景。本文旨在通过材料复合、
工艺改善和元素掺杂的方式提升PZ基反铁电薄膜的储能性能，其具体的研究内容及结
构如下：
1.退火工艺对PZT/PZ复合薄膜电性能的影响
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在LaNiO(LNO)/SiO/Si基底上制备了