硅纳米线波导平面集成光器件：从设计到检测的关键技术与应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，光通信和光传感等领域对光器件的性能、尺寸和集成度提出了越来越高的要求。传统的分立光器件在体积、功耗和成本等方面逐渐难以满足这些不断增长的需求，因此平面集成光器件应运而生，并成为研究的焦点。平面集成光器件通过将多种光学功能单元集成在同一衬底上，实现了光信号的高效传输、处理和控制，具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高以及易于大规模生产等显著优势，为光通信和光传感等领域的发展开辟了新的道路。

在众多平面集成光器件中，基于硅纳米线波导的器件由于硅材料本身的独特性质而备受关注。硅作为