基于PZT厚膜的MEMS微变形镜：制备、性能与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学技术领域，自适应光学的重要性愈发凸显，其能够实时校正因外界因素造成的波前像差，显著提升光学系统性能，在天文观测、激光通信、生物医学成像等众多领域发挥着关键作用。自适应光学系统的核心部件之一便是可变形反射镜，它负责根据波前传感器检测到的像差信号，精确改变自身镜面形状，从而补偿波前畸变，确保成像质量。可反射变形镜（简称变形镜）作为自适应光学中负责校正波前像差的关键器件，能够补偿由于光路各种因素引起的图像质量下降、成像不清晰等问题。基于压电驱动的变形镜因其具有快速响应、高分辨率、轻量化及低成本等优点