基本信息

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文档摘要

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生成对抗式神经网络在光刻掩模快速设计中的

应用研究

目录

1.文档简述 3

1.1研究背景与意义 4

1.2光刻掩模制造现状 6

1.3生成对抗网络技术概述 7

1.4本论文研究目标与创新点 8

2.相关理论与技术基础 12

2.1生成对抗网络基本原理 13

2.1.1输入生成器网络详解 15

2.1.2判别器网络构造分析 19

2.2光刻掩模版设计流程与方法 23

2.3针对掩模设计的GAN模型类别 25

2.4相关研究进展综述 28

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