氮氧化硅（SiON）级联双环光波导传感器：原理、设计与应用探索

一、绪论

1.1研究背景与意义

光传感器作为现代传感技术的重要组成部分，在过去几十年中取得了飞速发展。随着科技的不断进步，光传感器正朝着高灵敏度、微型化、集成化和多功能化的方向迈进。这些发展趋势不仅满足了日益增长的市场需求，也为众多领域的创新应用提供了可能。在高灵敏度方面，科研人员不断探索新的材料和结构，以提高光传感器对微弱光信号的检测能力，从而实现对更微量物质的精确检测和更细微物理量的测量。微型化则使得光传感器能够更好地适应小型化设备的需求，如可穿戴设备、微型医疗仪器等，为这些领域的发展注入了新的活力。集成化有助于将多个光传感