《新能源材料与器件制备技术》

第二章晶体硅太阳电池材料制备技术;硅（Silicon）是一种重要的半导体材料，在地壳中的含量约为26.7%，是仅次于氧的第二丰富元素，易取无毒，其氧化物性能稳定不溶于水，这是硅作为太阳电池材料的优点。

;3;2.2高纯多晶硅料制备;5;6;7;2.2.2硅烷法;9;10;流化床（FluidizedBedReactor，FBR）反应器是发生多相反应的大型反应室，内部由具有流体性质的气固混合反应物组成。虽然FBR产品的纯度低于西门子工艺，但是能够满足太阳能电池的生产要求。

利用流化床法生产高纯多晶硅起源于20