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文档摘要

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数字全息方法在微结构表面三维形貌测量中的应用与探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造、微机电系统（MEMS）、生物医学等众多前沿领域，微结构表面的三维形貌精确测量至关重要，已成为推动各领域技术突破与创新发展的关键环节。

在现代制造领域，随着制造业向高精度、微型化方向迅猛发展，对零件表面质量的要求达到了前所未有的高度。零件表面的微观形貌直接关乎其摩擦磨损性能、疲劳寿命以及与其他部件的配合精度，进而对整个产品的性能和可靠性产生决定性影响。例如，在航空发动机的制造中，叶片表面的微结构形貌若存在瑕疵，在高温、高压、高转速的极端工作环境下，可能引发严重的安全事故。因此，准确测量微结构表面的