基本信息

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文档摘要

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微热板气体传感器阵列单片集成电路的创新设计与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代社会，气体检测在环境监测、工业生产、医疗诊断等众多领域都有着不可或缺的地位。在环境监测中，需要精确检测空气中的有害气体如二氧化硫（SO_2）、氮氧化物（NO_x）、挥发性有机化合物（VOCs）等的浓度，以评估空气质量，为环境保护政策的制定提供依据。在工业生产里，无论是化工、石油、煤炭等传统行业，还是半导体制造、生物医药等新兴产业，都需要对生产过程中的气体进行实时监测，保障生产安全与产品质量。比如在半导体制造过程中，微量的杂质气体就可能影响芯片的性能，因此需要高灵敏度的气体传感器进行监测。在医疗诊断方