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文档摘要

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器件形貌检测及图形加工平台设备技术参数

序号

货物名称

技术参数要求

1

微纳电路激光成型机

1.1适用的感光介质为近紫外光刻胶、光敏树脂等。

1.2系统适用电源：220V，50Hz。

1.3采用柜式一体机的整机光机结构。

1.4晶圆样品台支持5mm×5mm-6英寸基片。

1.5光刻精度:≤0.5μm。

1.6具有对准套刻功能，对准精度:≤±0.5um。

1.7配备光学头不少于2个：A(NA=0.45)、B(NA=0.8）。

1.8加工效率：直写曝光书写速度≥60mm2/min@0.5μm，≥250mm2/min@1μm。

1.9支持基板厚度：0-15mm；具备自动对焦能力，Z轴调整分