GaN基垂直结构LED电镀铜衬底：工艺、性能与挑战探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在全球积极倡导节能减排的大背景下，照明领域作为能源消耗的重要部分，高效节能照明技术的研发显得尤为迫切。发光二极管（LED）作为新一代固体冷光源，凭借其低能耗、寿命长、易控制、安全环保等显著优势，成为了照明领域的研究热点与发展方向。在众多LED技术中，GaN基垂直结构LED因其独特的结构和性能优势，备受关注。

从结构上看，LED主要分为正装结构、倒装结构和垂直结构。目前较为成熟的III族氮化物多采用蓝宝石材料作为衬底，普通的GaN基LED多为正装结构，有源区发出的光经由P型Ga