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文件名称:基于EIT技术的MEMS传感方法:原理、应用与创新发展.docx
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更新时间:2025-09-23
总字数:约3.07万字
文档摘要

基于EIT技术的MEMS传感方法:原理、应用与创新发展

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展,微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)技术和电阻抗断层成像(EIT,ElectricalImpedanceTomography)技术在各自领域取得了显著进展。MEMS技术作为一种将微电子技术与机械工程融合的工业技术,其操作范围在微米量级,能够制造出集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。凭借着微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产等优势,MEMS传感器在消费电子、汽