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文档摘要

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微构件尺寸效应剖析与数值方法应用研究

一、绪论

1.1研究背景

在现代科技飞速发展的浪潮中，微机电系统（MEMS）、纳米技术以及集成电路等前沿领域不断取得突破，推动着科技的进步与创新。而在这些领域中，微构件作为关键组成部分，发挥着不可或缺的作用。微构件，通常是指尺寸处于微米至毫米级别的结构件，凭借其微小尺寸、高强度、高韧性以及高导电性等独特优势，在众多领域得到了广泛的应用。在微机电系统中，微构件可用于制造微型传感器、执行器等关键部件，实现对微小物理量的精确感知和控制；在纳米技术领域，微构件则是构建纳米级功能器件的基础，为实现纳米尺度下的物质操控和功能实现提供了可能；在集成电路中，微构件的应用