基本信息
文件名称：TCEMIA-集成电路刻蚀设备用石英环及编制说明.pdf
文件大小：498.04 KB
总页数：20 页
更新时间：2025-09-24
总字数：约2.1万字
文档摘要
ICS
CCS
团体标准
T/CEMIA×××－××××
集成电路刻蚀设备用石英环
（Quartzringforintegratedcircuitetchingtools）
（征求意见稿）