TohoSpec3100光学干涉法薄膜测厚仪

1.0仪器功能：

TohoSpec3100膜厚仪利用光学干涉法量测薄膜厚度，可快速量测并适用于量测多

层膜。如下图，通过物镜向参照测量对象射入垂直光线，其反射光线将被分散为各

中波长。采集各波长的数据以建立数据库，形成测量模型。每当测量时，将测量

結果的光谱与数据库的光谱进行对比，取出最近似的数据作为测量结果输出。

2.0样品材料要求

样品载物台最大可放置6寸硅片；小样品只要可放在载物台亦可。

3.0设备培训和参考资料

3.1本设备需经过