基本信息

---

下载

文档摘要

---

半导体制造2025年刻蚀工艺微流控技术创新解析

一、半导体制造2025年刻蚀工艺微流控技术创新解析

1.1刻蚀工艺概述

1.2微流控技术在刻蚀工艺中的应用

1.2.1微流控刻蚀设备的研发

1.2.1.1微流控通道的设计与制造

1.2.1.2微流控刻蚀头的开发

1.2.1.3微流控刻蚀设备的集成与优化

1.2.2微流控刻蚀工艺的创新

1.2.2.1刻蚀液的选择与优化

1.2.2.2刻蚀参数的优化

1.2.2.3刻蚀工艺的集成

1.2.3微流控刻蚀工艺的应用

1.2.3.1制造高性能晶体管

1.2.3.2制造复杂集成电路

1.2.3.3制造新型半导体材料

二、刻蚀工艺微