基本信息

---

下载

文档摘要

---

摘要

模具在工业生产中素有“工业之母”美称，对模具钢进行研抛是高端镜面模

具制造中重要的一环。然而传统研抛工艺对高端镜面模具的加工存在生产效率低、

工件质量难以保证；柔性抛光技术又面临生产成本高等问题，严重制约高端镜面

模具的发展。化学气相沉积（Chemicalvapordepositon，CVD）金刚石涂层具有高

硬度、低摩擦系数、优良的耐磨性成为精密加工中理想刀具材料；超声辅助加工

能够减少刀具磨损、提高工件表面质量，广泛应用于精密超精密加工；本文将CVD

金刚石涂层技术和超声辅