基本信息

---

下载

文档摘要

---

摘要

在电子科技高速发展的今天，电子设备高度集成化逐渐成为主流。但高度集

成化带来便利的同时，也对器件间的绝缘保护提出了更高的要求，当设备内部出

现较小绝缘缺陷时，便会产生很高的电场强度，进而对电子器件内部产生破坏，

故此对微米尺度气体放电规律的研究逐渐成为当下热点。相比于宏观下的气体放

电理论，微观尺度下的气体放电理论仍不完善，尤其在微米尺度以及亚微米量级

中，气体的放电规律仍有待探索与完善。

本文中以空气作为实验放电气体，通过搭建的微纳米放电实验平台进行放电

实验。分别设置了