基本信息
文件名称：电子工厂气体系统工程设计交付规范.pdf
文件大小：1.12 MB
总页数：91 页
更新时间：2025-09-25
总字数：约11.34万字
文档摘要
SJ
中华人民共和国电子行业标准
电子工厂气体系统工程设计交付规范
中华人民共和国工业和信息化部发布
目次
1总则1
2术语和缩略语2
2.1术语2
2.2缩略语3
3基本规定5
4交付准备7
4.1设计输入条件7