高压1000V浮动V/I源的设计及

对浮动V/I源的研究

摘要

随着半导体产业在全国的广泛发展，半导体自动化测试技术也越来越受关

注。然而半导体自动化测试的好坏完全取决于所采用的自动化测试机（ATE）的

性能。目前在半导体行业ATE主要还是以日美的设备为主，不过在模拟测试领

域国内测试机厂商也得到了很好的发展，如华峰测控等。模拟测试机的核心部

分就是它的模拟V/I源。V/I源的质量好坏决定了产品的测试品质，但是人为

因素也对产品的测