探究倒装芯片封装对MEMS器件性能的多维度影响与优化策略

一、绪论

1.1研究背景

随着科技的飞速发展，MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微机电系统）器件作为一种融合了微型机械、电子、传感器等多领域技术的微器件，在现代科技领域中占据着愈发重要的地位。MEMS器件凭借其小尺寸、低功耗、高灵敏度以及可批量生产等显著优势，在众多领域得到了广泛应用。

在汽车领域，MEMS传感器为汽车的智能化和安全性提供了关键支持。例如，MEMS加速度计和陀螺仪被大量应用于汽车的安全气囊系统、电子稳定控制系统（ESC）以及导航系统中。当汽车发生碰撞时，MEMS加速度计