基本信息

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文档摘要

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探索表面下微尺度热结构测量的前沿方法与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，微尺度热结构测量已成为众多前沿领域的关键支撑技术，对推动各领域的技术革新和性能提升发挥着不可替代的重要作用。从微观层面深入探究物质的热行为，不仅为基础科学研究提供了全新视角，更为解决实际工程问题提供了有力手段。

在微电子领域，随着摩尔定律的持续推进，芯片集成度不断提高，晶体管尺寸持续缩小，如今已进入纳米尺度。这使得单位面积上的电子元件数量大幅增加，热流密度急剧攀升。例如，在高性能计算机芯片中，热流密度可高达数百瓦每平方厘米。如此高的热流密度若不能有效管理，将导致芯片温度迅速上升，引发电子迁