探究EEPROM氧化层特性与电荷保持特性：机制、影响及优化策略

一、引言

1.1EEPROM的发展与应用现状

自电子革命以来，半导体存储器在信息技术领域中扮演着不可或缺的角色，依据断电后数据保存特性，其可分为非易失性存储器和易失性存储器。EEPROM作为非易失性存储器的重要分支，自问世以来，便凭借独特的电擦写特性在半导体存储器领域占据重要地位。EEPROM的发展历程可追溯到20世纪70年代，1972年，SolidStateDevices首次制造出EEPROM，随后，HughesAircraft、Fairchild和Siemens等公司进一步开发，不断优化其性能