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文档摘要

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二维半导体材料在逻辑芯片中的新型器件制备与性能测试范文参考

一、二维半导体材料在逻辑芯片中的新型器件制备与性能测试

1.1行业背景

1.2新型器件制备技术

1.2.1二维半导体材料的提取与制备

1.2.2器件制备工艺

1.3性能测试方法

1.4应用前景

1.4.1高速逻辑芯片

1.4.2低功耗逻辑芯片

1.4.3智能传感器

二、二维半导体材料在逻辑芯片中的制备工艺研究

2.1材料制备技术

2.1.1机械剥离法

2.1.2化学气相沉积法

2.1.3溶液法

2.2器件结构设计

2.2.1沟道结构设计

2.2.2栅极结构设计

2.3制备工艺优化

2.3.1薄膜生长