基于MEMS技术的单片集成三轴硅微机械震动陀螺仪设计与性能仿真研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的迅猛发展，对高精度、小型化、高可靠性惯性传感器的需求日益增长，这促使微机械陀螺仪成为研究热点。微机械陀螺仪作为微机电系统（MEMS）的重要组成部分，利用微机械加工技术制作而成，具有体积小、精度高、功耗低等显著优势，与传统的机械陀螺仪器相比，更能满足现代科技对传感器的严格要求，在众多领域展现出了巨大的应用潜力。

在航空航天领域，三轴硅微机械震动陀螺仪发挥着不可替代的关键作用。飞行器在飞行过程中，需要实时、精确地获取自身的姿态信息，以确保飞行的稳定性和安全性。三轴硅微机械震动陀螺仪能够同