基本信息

---

下载

文档摘要

---

电弧离子镀TiN薄膜：制备工艺、特性分析与应用前景

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学与技术的飞速发展进程中，薄膜材料凭借其独特的物理、化学及力学性能，在众多领域中展现出不可或缺的应用价值。其中，氮化钛（TiN）薄膜作为一种典型的过渡金属氮化物薄膜，自问世以来便受到了广泛的关注与深入的研究。TiN薄膜具备一系列优异的特性，使其在多个领域中都有着极为广泛的应用。

从机械性能角度来看，TiN薄膜拥有高达2000-3000维氏硬度（HV）的高硬度特性，这一数值显著高于许多传统材料，使其能够有效抵抗外界的磨损与划伤，在各种机械加工和工具应用中表现出色。在刀具涂层领域，TiN