基本信息

---

下载

文档摘要

---

2025年高精度半导体CMP抛光液研发进展技术创新报告

一、：2025年高精度半导体CMP抛光液研发进展技术创新报告

1.1抛光液概述

1.2抛光液研发背景

1.2.1背景一

1.2.2背景二

1.3抛光液研发方向

1.3.1方向一

1.3.2方向二

1.3.3方向三

1.3.4方向四

1.3.5方向五

二、高精度半导体CMP抛光液的关键技术

2.1抛光液配方优化

2.1.1配方选择

2.1.2添加剂添加

2.1.3配方优化

2.2抛光机理研究

2.2.1机理模型

2.2.2机理实验

2.2.3机理与配方关系

2.3抛光液稳定性控制

2.3.1储存稳定性