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文档摘要

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超高精密温度洁净空调系统技术建造方案

引言

超高精密温度空调系统是高精尖领域常用的环境控制手段，用于测试光学相关材料在不同温度环境下的性能或在特定温度波动范围条件下将材料加工为产品。本文提供了一种用于洁净室的精密温度空调系统，其有利于洁净室温湿度场和气流组织的均匀分布，而且能消除二次负荷带来的影响，同时控制精度高，更适合要求比较高的洁净室。

１设计参数

1.1室外气象参数（参考上海市）

1.2室内设计参数

室内设计参数由ＰＩD提供，主要放置光学技术研究光学平台，需求数据如下：

１）洁净度：实验区为ISO6-7级；

２）吊顶净高：约３.0ｍ；

３）温度：（23±0.05）℃；

４）相对湿度：（3