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化学品系统技术解析

高纯化学品是超大规模集成电路制作过程中关键性化工材料之一，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻，它的纯度和洁净度对的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。超净高纯试剂具有品种多、用量大、技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特点。下表列出了超净高纯化学试剂与发展的关系。

随着芯片存储容量的增大，存储器电池的氧化膜更薄，而试剂中所含的杂质、碱金属等）会溶进氧化膜之中，造成耐绝缘电压的下降试剂中所含的重金属等）若附着在硅晶片表面上，则会使P/N结耐电压降低。一般认为，产生断丝、短路等物理性故障的杂质分子大小为最小线宽的1/4，产生腐蚀或漏电等化学性故障的杂质分子大小为最小线宽的