大面积大行程激光投影成像曝光机工作台关键技术与应用研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代电子工业中，激光投影成像曝光机占据着举足轻重的地位，其作为微细加工的关键设备，广泛应用于印制电路板（PCB）制造、液晶显示器（LCD）生产、集成电路（IC）制造等多个核心领域。随着电子产品朝着小型化、多功能化以及高性能化方向飞速发展，对电子器件的集成度与精度提出了极为严苛的要求，这无疑促使激光投影成像曝光机不断朝着大面积、大行程以及高分辨率的方向持续演进。

工作台作为激光投影成像曝光机的核心组件，其性能优劣直接关乎整个设备的成像质量与曝光精度。在大面积、大行程的工作需求下，工作台需要具备高精度的定位