等离子体浸没式注入单晶硅的生物相容性与遗传毒性：理论、实验与应用探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，硅材料作为一种关键的基础材料，在众多领域都发挥着不可或缺的作用。从半导体集成电路到太阳能电池，从微机电系统（MEMS）到生物医学器件，硅材料的身影无处不在。随着电子设备的不断小型化、高性能化以及生物医学领域对新型材料的迫切需求，对硅材料的性能要求也日益严苛。传统的硅材料制备方法，如化学气相沉积、分子束外延等，虽然在一定程度上能够满足常规应用的需求，但在面对一些特殊应用场景时，却暴露出了诸多局限性。这些方法制备的硅材料表面粗糙度较大，这不仅会影响材料的光学、电学性能，